Исследование параметров микроэлектромеханических систем дефлекторов для определения магнитной проницаемости материала диполей
Финансирование: -
Аннотация:
Рассмотрены микроэлектромеханические системы (МЭМС) – дефлекторы с электромагнитным управлением и экспериментальный стенд для измерения их функциональных параметров. Электромагнитный способ управления позволяет получить высокую точность позиционирования отраженного пучка вдоль одной пространственной координаты, а также обеспечивает повышенное быстродействие со временем отклонения светового потока в заданное положение 5–10 мкс. Представлены графики экспериментальных и теоретических зависимостей угла отклонения светового потока от индукции управляющего магнитного поля МЭМС-дефлекторов. Методом последовательных приближений подобрано значение магнитной проницаемости материала диполя µ = 120, а также определена максимальная величина углового отклонения светового потока вдоль одной пространственной координаты, которая составляет 13,5°. Представленные в работе МЭМС могут найти применение в первую очередь как быстродействующие дефлекторы и сканеры оптических потоков с диаметром пучка до 2,5 мм.
Ключевые слова (RU):
микроэлектромеханические системы, дефлекторы, магнитная проницаемость материала
Ключевые слова (EN):
micro-electromechanical systems (MEMS), deflectors, material magnetic permeability
Библиографический список:
- Чесноков В. В. Микромеханические модуляторы света // Изв. вузов. Сер. Приборостроение. – 1990. – № 6. – С. 82–85.
- Чесноков Д. В. Микромеханический дефлектор световых потоков // Оптический журнал. – 2007. – Т. 74, № 4. – С. 51–54.
- Корнеев В. С. Микромеханическая управляемая дифракционная решетка с изменяемым углом блеска // Оптический журнал. – 2010. – Т. 77, № 5. – С. 69–71.
- Корнеев В. С. Экспериментальное исследование параметров крутильных колебаний полосок микромеханической отражательной дифракционной решетки // Вестник СГГА. – 2010. – Вып. 1 (12). – С. 117–122.
- V. S. Korneyev, V. V. Chesnokov, D. V. Chesnokov. Micromechanical optical scanner for terahertz spectrum diapason // Key Engineering Materials. 2010. V.473. – P.291–295.
- Корнеев В. С. Расчет амплитуд собственных колебаний для мембран прямоугольной и круглой формы // Вестник СГУГиТ. – 2017. – Т. 22, № 4. – С. 173–185.
- Князев И. В. Моделирование динамических характеристик переключения элементов микрооптоэлектромеханической перестраиваемой дифракционной решетки // Вестник СГУГиТ. – 2017. – Т. 22, № 1. – С. 235–251.
- Федоров С. Ю., Бояршинов Б. Ф. Аппаратура для измерений в сфокусированных лазерных пучках и ее применение // Вестник СГГА. – 2014. – Вып. 2 (26). – С. 47–60.
- Кузнецов М. М., Карманов И. Н. Оптические микроволновые линзы // Вестник СГУГиТ. – 2015. – Вып. 4 (32). – С. 79–85.
- Носков М. Ф. Оптико-электронная обработка изображений шаровых элементов // Вестник СГУГиТ. – 2016. – Вып. 4 (36). – С. 254–260.
- Корнеев В. С., Райхерт В. А, Шергин С. Л., Никулин Д. М. Компьютерная обработка изображений дифракционных картин в лабораторных работах по физике // Физическое образование в ВУЗах. – 2019. – Т. 25, № 4. – С. 31–38.
- Vladimir S. Korneyev. Study of the parameters of micromechanical devices with electromagnetic control // International school and seminar «Modern problems of Nanоelectronics, Micro- and Nanоsystem Technologies». – Novosibirsk : NSTU, 2009. – P.113–115.
- Корнеев В. С., Райхерт В. А., Кочкарев Д. В. Экспериментальное определение модуля упругости Юнга многослойной консольной микробалки // ГЕО-Сибирь-2011. VII Междунар. науч. конгр. : сб. материалов в 6 т. (Новосибирск, 19–29 апреля 2011 г.). – Новосибирск : СГГА, 2011. Т. 2, ч. 2. – С. 113–117.
- Корнеев В. С., Шергин С. Л. Измерительный стенд для экспериментальных исследований динамических параметров микро-электромеханических систем с электромагнитным управлением // Приборы и техника эксперимента. – 2021. – № 4. – С. 154–155.