vestnik Журнал "Вестник Сибирского государственного университета геосистем и технологий (СГУГиТ)" 2411-1759 ФГБОУ ВО "Сибирский государственный университет геосистем и технологий (СГУГиТ)" RU https://vestnik.sgugit.ru 10.33764/2411-1759-2023-28-3-128-132 Метрология и метрологическое обеспечение Исследование параметров микроэлектромеханических систем дефлекторов для определения магнитной проницаемости материала диполей В. С. Корнеев Корнеев В. С. С. Л. Шергин Шергин С. Л. Сибирский государственный университет геосистем и технологий, г. Новосибирск, Российская Федерация 2023 28 3 128 132 © В. С. Корнеев, С. Л. Шергин, 2023 2023 В. С. Корнеев, С. Л. Шергин Эта статья дотупна по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная. Рассмотрены микроэлектромеханические системы (МЭМС) – дефлекторы с электромагнитным управлением и экспериментальный стенд для измерения их функциональных параметров. Электромагнитный способ управления позволяет получить высокую точность позиционирования отраженного пучка вдоль одной пространственной координаты, а также обеспечивает повышенное быстродействие со временем отклонения светового потока в заданное положение 5–10 мкс. Представлены графики экспериментальных и теоретических зависимостей угла отклонения светового потока от индукции управляющего магнитного поля МЭМС-дефлекторов. Методом последовательных приближений подобрано значение магнитной проницаемости материала диполя µ = 120, а также определена максимальная величина углового отклонения светового потока вдоль одной пространственной координаты, которая составляет 13,5°. Представленные в работе МЭМС могут найти применение в первую очередь как быстродействующие дефлекторы и сканеры оптических потоков с диаметром пучка до 2,5 мм. микроэлектромеханические системы дефлекторы магнитная проницаемость материала micro-electromechanical systems (MEMS) deflectors material magnetic permeability 1. Чесноков В. В. Микромеханические модуляторы света // Изв. вузов. Сер. Приборостроение. – 1990. – № 6. – С. 82–85. 2. Чесноков Д. В. Микромеханический дефлектор световых потоков // Оптический журнал. – 2007. – Т. 74, № 4. – С. 51–54. 3. Корнеев В. С. Микромеханическая управляемая дифракционная решетка с изменяемым углом блеска // Оптический журнал. – 2010. – Т. 77, № 5. – С. 69–71. 4. Корнеев В. С. Экспериментальное исследование параметров крутильных колебаний полосок микромеханической отражательной дифракционной решетки // Вестник СГГА. – 2010. – Вып. 1 (12). – С. 117–122. 5. V. S. Korneyev, V. V. Chesnokov, D. V. Chesnokov. Micromechanical optical scanner for terahertz spectrum diapason // Key Engineering Materials. 2010. V.473. – P.291–295. 6. Корнеев В. С. Расчет амплитуд собственных колебаний для мембран прямоугольной и круглой формы // Вестник СГУГиТ. – 2017. – Т. 22, № 4. – С. 173–185. 7. Князев И. В. Моделирование динамических характеристик переключения элементов микрооптоэлектромеханической перестраиваемой дифракционной решетки // Вестник СГУГиТ. – 2017. – Т. 22, № 1. – С. 235–251. 8. Федоров С. Ю., Бояршинов Б. Ф. Аппаратура для измерений в сфокусированных лазерных пучках и ее применение // Вестник СГГА. – 2014. – Вып. 2 (26). – С. 47–60. 9. Кузнецов М. М., Карманов И. Н. Оптические микроволновые линзы // Вестник СГУГиТ. – 2015. – Вып. 4 (32). – С. 79–85. 10. Носков М. Ф. Оптико-электронная обработка изображений шаровых элементов // Вестник СГУГиТ. – 2016. – Вып. 4 (36). – С. 254–260. 11. Корнеев В. С., Райхерт В. А, Шергин С. Л., Никулин Д. М. Компьютерная обработка изображений дифракционных картин в лабораторных работах по физике // Физическое образование в ВУЗах. – 2019. – Т. 25, № 4. – С. 31–38. 12. Vladimir S. Korneyev. Study of the parameters of micromechanical devices with electromagnetic control // International school and seminar «Modern problems of Nanоelectronics, Micro- and Nanоsystem Technologies». – Novosibirsk : NSTU, 2009. – P.113–115. 13. Корнеев В. С., Райхерт В. А., Кочкарев Д. В. Экспериментальное определение модуля упругости Юнга многослойной консольной микробалки // ГЕО-Сибирь-2011. VII Междунар. науч. конгр. : сб. материалов в 6 т. (Новосибирск, 19–29 апреля 2011 г.). – Новосибирск : СГГА, 2011. Т. 2, ч. 2. – С. 113–117. 14. Корнеев В. С., Шергин С. Л. Измерительный стенд для экспериментальных исследований динамических параметров микро-электромеханических систем с электромагнитным управлением // Приборы и техника эксперимента. – 2021. – № 4. – С. 154–155.