Универсальные коаксиально-полосковое и зондовое контактные устройства и способы их калибровки

Универсальные коаксиально-полосковое и зондовое контактные устройства и способы их калибровки

Метрология и метрологическое обеспечение
УДК: 621.385.6
DOI: 10.33764/2411-1759-2020-25-4-229-237
1 Сибирский государственный университет геосистем и технологий, 630108, Россия, г. Новосибирск

Финансирование: -

Аннотация:

Рассмотрены конструкция и способ калибровки коаксиально-полоскового контактного устройства, которое обеспечивает подключение к анализатору сверхвысокочастотных цепей как коаксиальных мер и микрополосковых калибраторов, так и исследуемых активных компонентов, таких как транзисторы. Контактное устройство обеспечивает высокую повторяемость подключения к нему коаксиальных мер, микрополосковых калибраторов и исследуемых активных компонентов, имеет малый собственный коэффициент стоячей волны и потери. Для калибровки контактного устройства используют минимальный набор легко рассчитываемых микрополосковых калибраторов с малыми потерями, что с учетом высокой повторяемости их подключения снижает трудоемкость его калибровки и повышает точность передачи результатов измерения из коаксиального тракта в микрополосковый тракт. Возможность передачи результатов измерения из коаксиального тракта в микрополосковый тракт расширяет область действия Государственной системы обеспечения единства измерений на последний. Также приведены конструкция зондового контактного устройства и способ его калибровки специализированным микрополосковым калибратором.

Читать статью Скачать JATS XML

Библиографический список:

  1. Савелькаев С. В. Коаксиальное контактное устройство // Измерительная техника. – 2004. – № 4. – С. 65–68.
  2. Заржецкая Н. В., Литовченко В. А. Коаксиальное контактное устройство и способ его калибровки / Интерэкспо Гео-Сибирь : XV Междунар. науч. конгр. : Междунар. науч. конф. «Наука. Оборона. Безопасность–2019» : сб. материалов (Новосибирск, 24–26 апреля 2019 г.). – Новосибирск : СГУГиТ, 2019. Т. 9. – С. 77–86.
  3. Savel’kaev S. V., Danilevich S. B. Design and Quality Control of Microwave Devices Using Simulation and Measurement Methods: Theoretical basis for designing analyzers/simulators for microwave devices. – Cambridge Scholars Publishing, 2020. – 264 p.
  4. Heuermann H., Schiek B. Line network network (LNN): at alternative in-fixture calibration procedure // IEEE Trans. – 1977 – Vol. MTT–45. – No. 3. – P. 408–413.
  5. Техника измерения S-параметров СВЧ-транзисторов в полосковых линиях передачи с произвольным волновым сопротивлением / В. И. Евсеев, О. В. Лавричев, С. М. Никулин, В. В. Петров, А. С. Шипунов // Вестник воздушно-космической обороны. – 2017. – № 4 (16). – С. 46–50.
  6. Контактное устройство для контроля параметров интегральных структур и электронных компонентов в микрополосковых линиях передачи / О. В. Ларичев, Е. А. Лебедева, С. М. Никулин, В. В. Петров, А. А. Шипунов // Сборник статей Пятой всероссийской конференции «Электроника и микроэлектроника СВЧ» (Санкт-Петербург, 30 мая – 2 июня). – СПб. : СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2016. Т. 1. – С. 310–314.
  7. Филатов В. А., Щукин А. В., Бобкович П. И. Автоматизированный стенд для входного контроля пассивных компонентов СВЧ / 26-я Международная Крымская конференция «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» : материалы конференции (4–6 сентября 2016 г.). – Севастополь, Крым, 2016. – С. 1907–1912.
  8. Официальный сайт Withwave [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://www.withwave.com/t-probes (дата обращения 14.06.2018).
  9. Официальный сайт Integrated Device Technologies [Электронный ресурс]. – Режим доступа: http://www.idt.com (дата обращения 14.06.2018).
  10. Network Analysis Applying the 8510 TRL Calibration for Non-Coaxial Measurements [Electronic resource] : Technical Overview. USA: Keysight Technologies, 2014. – Mode of access: http://www.keysight.com (дата обращения 14.06.2016).
  11. Horibe M. R., Kishikawa R. Metrological Traceability in Waveguide S-parameter Measurement at 1.0 THz band // IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement. – 2013. – Vol. 62, No 6. – P. 1814–1820.
  12. Chen L., Zhang C., Reck T. J., Arsenovic A., Bauwens M., Groppi C., Lichtenberger A. W., Weikle R. M., Barker N. S. Terahertz Micromachined On-Wafer Probes: Repeatability and Reliability // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. – 2012. – Vol. 60, No 9. – P. 2894–2902.
  13. Hanning J., Stenarcon J., Yhland K., Sobis P. J., Bryllert T., Stake J. Single-Flange 2-Port TRL Calibration for Accurate THz S-parameter Measurements of Waveguide Integrated Circuits // IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology. – 2014. – Vol. 4, No 4. – P. 582–587.
  14. Hesler J. L., Duan Y., Foley B., Crowe T. W. THz Vector Network Analyzer Measurement and Calibration / 21st International Symposium on Space Terahertz Technology. – Oxford, 23–25 March, 2010. – P. 318–320.
  15. Caglayan C., Georgios C. Trichopoulos, Sertel K. Non-Contact Probes for Device and Integrated Circuit Characterization in the THz and mmW Bands // Transactions on Microwave Symposium (IMS), 1–6 June, 2014. – P. 1–3.
  16. Caglayan C., Trichopoulos G. C., Sertel K. Non-Contact Probes for On-Wafer Characterization of Sub-Millimeter-Wave Devices and Integrated Circuits // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. – November 2014. – Vol. 62, No 11. – P. 2791–2801.
  17. Dunsmore J., Cheng N., Zhang Y. Characterization of asymmetric fixtures with a two-gate approach // Proceedings of the 77th Microwave Measurement Conference (ARFTG), 10 June, 2011. – P. 1–6.
  18. Yoon C., Tsiklauri M., Zvonkin M., Fan J., Drewniak J. L., Razmadze A., Aflaki A., Kim J., Chen Q. B. Design Criteria of Automatic Fixture Removal (AFR) for Asymmetric Fixture De-embedding // 2014 IEEE International Symposium on Electromagnetic Compatibility (EMC), 4–8 Aug. 2015, Raleigh, North Carolina, USA. – P. 654–659.
  19. PNA-X Series Microwave Network Analyzers [Electronic resource]. – USA : Keysight Technologies, 2015. – Mode of access: https://www.keysight.com/us/en/assets/7018-02294/brochures/5990-4592.pdf.
  20. Vanel J. Improved Evaluation of Planar Calibration Standards Using the TDR Preselection Method // Acta Polytechnica. – 2007. – Vol. 47, No 4–5. – P. 102–106.
  21. Scott J. B. Investigation of a Method to Improve VNA Calibration in Planar Dispersive Media Through Adding an Asymmetrical Reciprocal Device // IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. – 2004. – Vol. 53, No 9. – P. 3007–3013.
  22. Евсеев В. И., Лебедева Е. А., Никулин С. М., Петров В. В., Шипунов А. С. Технические средства для измерений параметров полосковых СВЧ-устройств // Датчики и системы. – 2016. – № 6 (204). – С. 23–27.
  23. Савелькаев С. В., Литовченко В. А. Способ калибровки полоскового контактного устройства / Интерэкспо ГЕО-Сибирь-2015 : XI Международный научный конгресс : Междунар. науч. конф. «СибОптика-2015» : сб. материалов в 3 т. (Новосибирск, 13–25 апреля 2015 г.). – Новосибирск : СГУГиТ, 2014. Т. 3 – С. 37–41.
  24. Zhu N. H. Phase uncertainty in calibrating microwave test fixtures // IEEE Trans. – 1999 – Vol. VTT–47, No. 10. – P. 1917–1922.
  25. А.с. 11578667 СССР, Н 01 Р 5/08. Контактное устройство и калибровочная согласованная нагрузка / С.В. Савелькаев, А.П. Герасименко. – Опубл. в Бюл. Открытия. Изобретения. – 1990. – № 26.
  26. Гупта К., Гардж Р., Чадха Р. Машинное проектирование СВЧ-устройств. – М. : Радио и связь. – 1987. – 432 с.